半導(dǎo)體氣體傳感器簡介
背景:
隨著工業(yè)化社會的不斷發(fā)展,越來越多的有毒有害氣體從工業(yè)生產(chǎn)過程中排放出來。這就對空氣環(huán)境造成了污染,同時也影響著人們的人體健康。對氣體成分及含量的檢測和控制成了一大需求,氣體傳感器也應(yīng)運而生。其中半導(dǎo)體氣體傳感器對空氣質(zhì)量就可以進行科學(xué)有效的氣體檢測。
半導(dǎo)體氣體傳感器介紹:
半導(dǎo)體氣體傳感器中的敏感元件就是半導(dǎo)體氣敏元件。作為生活中最為常見的一種氣體傳感器,在很多場合中,我們都可以看到它的應(yīng)用。就比如半導(dǎo)體H2S傳感器可以檢測硫化氫氣體的濃度。氣體半導(dǎo)體傳感器帶給我們的便利是非常多的,而這都是得益于其獨特高效的工作原理,接下來,我們來了解一下關(guān)于 氣體半導(dǎo)體傳感器的檢測原理
半導(dǎo)體氣體傳感器檢測原理:
氣體半導(dǎo)體傳感器主要是根據(jù)氧化還原反應(yīng)來分析記錄傳感器電阻值的變化,從而對監(jiān)測被測氣體。半導(dǎo)體氣體傳感器是使用氣體在半導(dǎo)體表層的氧化還原反應(yīng)造成敏感元件電阻值發(fā)生變化而制成的。當(dāng)半導(dǎo)體器件被加熱到平穩(wěn)狀態(tài),在氣體接觸半導(dǎo)體表層而被吸附時,被吸附的分子結(jié)構(gòu)最先在物體表層自由擴散,喪失運動能量,一部分分子結(jié)構(gòu)被蒸發(fā)掉,另一部分殘留分子結(jié)構(gòu)產(chǎn)生熱分解吸附在物體表層。當(dāng)半導(dǎo)體的功函數(shù)低于吸附分子結(jié)構(gòu)的親和力,則吸附分子結(jié)構(gòu)將從器件奪走電子而變成負離子吸附,半導(dǎo)體表層呈現(xiàn)電荷層。